半导体加工石墨粉需满足的要求

来源：未知时间：2022-10-28 13:11打印

一部分半导体生产制造过程中，会添加石墨粉提高性能，但需要考虑石墨粉纯度、粒度分布，耐高温性等等

　　一部分半导体生产制造过程中，会添加石墨粉提高性能，但需要考虑石墨粉纯度、粒度分布，耐高温性等等。下面及时半导体加工用石墨粉的要求：

　　1、纯度高

　　对石墨粉纯度要求很高，如果杂质含量多，会污染半导体材料。因此除对所应用石墨粉的纯度严控外，还需经过高溫石墨化处理，以降低灰分。

　　2、粒度分布高

　　用以煅烧的磨具规定生产加工精密度很高，石墨粉颗粒物度要细，颗粒物度细的石墨非常容易超过生产加工精密度，且高溫抗压强度高，耗损小。

　　3、耐热

　　半导体工业生产常用石墨器件大多要反复加热和冷却，所以石墨材料在高溫条件下，应具备优良的尺寸稳定性和耐热冲击性能，以提升石墨器件的使用寿命，

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